使用管式炉时如何抽真空？

更新时间：2022-09-16 浏览量：1318

　　管式炉是根据温度采用电阻丝，硅碳棒、硅钼棒等材料为加热元件，温度可以达到1800度。具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。

　　管式炉在进行使用时，是在真空状态下进行工作的，所以抽真空是操作使用炉子时一项非常重要的步骤，如果做不好那么可能就会影响其使用效果，那么如何正确抽真空呢？

　　抽真空：确保管式炉进气口关闭，打开出气口，连接真空泵，将炉管压强抽至-0.09 Mpa，随后关闭出气口和真空泵。接着按气瓶主阀、分压阀（个示数0.5-1.0，第二个示数0.02）、管路开关、气体流量计的顺序打开气路，打开进气口阀门。

　　待管式炉炉管内压强升至正压（不超过0.02 Mpa）时，打开出气口阀门，通过进气阀门及流量计调节气体流速，一般以安全瓶中连续鼓出气泡为准。稳定后，通氮气5-20 min，把管内空气全部排空。

　　抽真空是管式炉使用中非常重要的一步，也是关系到其使用效果的重要条件，所以用户在使用时一定要掌握好正确的方法。

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