高温真空气氛炉真空系统说明

　　高温真空气氛炉真空系统说明如下；
 

　　1、真空系统为扩散泵机组：即为扩散泵+旋片真空泵；由高真空扩散泵、水冷挡板、旋片真空泵、电磁真空带充气阀、高真空气动档板阀(主阀)、高真空气动档板阀预抽阀、高真空气动档板阀(出口阀)、前级管路充气阀、连接管路、密封圈、复合真空计及配电柜等组成的抽气系统。
 

　　2、本机组不适宜抽除对金属有腐蚀作用和对泵油起化学反应的气体。它可作为真空冶炼、真空烧结、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、太空模拟实验装置等高科技设备的高真空获得装置。工作环境温度5~40℃，相对湿度不大于85%，冷却水温度25℃+5℃。
 

　　3、真空度与真空泵的抽气能力、舱室的密封性以及舱室内部材料(炉体内壁、实验器件、热沉等)的放气量有关，本机组的极限压力为1×10-3pa,使用压力为1×10-2pa，抽气时间约为1小时。
 

　　4、扩散泵不能单独形成抽气，需由前级泵将系统压力降低至扩散泵要求启动的压力之内，一般为≤10pa。
 

　　5、在扩散泵的进气口装有新型的水冷档板，可有效的防止扩散泵中的油蒸汽返流入真空室内，避免对实验仪器的污染。
 

　　6、 为了防止前级泵中的真空油在停泵时返流入扩散泵泵腔内，需在前级真空的进?气口配电磁阀，在停泵时自动将系统管路隔离。
 

　　7、阀门采用气动方式，操作方便。
 

　　8、在开始抽气时 ,此系统中设置有预抽管路,被抽气体不经过扩散泵而由前级泵直接抽出,这样做可避免被抽容器中气体对扩散泵的污染(水分、挥发物、杂质)，待被抽容器压力降低至10pa时,关闭预抽阀、开启挡板阀,扩散泵开始对被抽容器开始正常抽气。